星垂平野

超声清洗设备根据清洗对象和生产规模的要求， 其组成和结构差别很大，可以是复杂、庞大的设备，也 可以是非常简单的结构。这里着重探讨由超声频电源、 换能器和清洗槽组成超声波清洗设备的核心部分的质量问题。

1．1超声换能器结构的选择

在低超声频段(20—100KHz)，目前工业上绝大多数是采用单螺钉夹紧的夹心式压电换能器(复合换能器)，结构上的差别主要在于辐射体(与不锈钢板粘接的铝块)的形状，一种是锥体喇叭；另一种直棒形状。如图1a和1b所示。

喇叭状换能器的声辐射效率比棒状换能器高，即同样的输入电功率．在清洗槽中得到较大的声功率，而消耗在换能器上的电功率较少，因而换能器的发热也低．

0 概论

0.1基本要素

0.1.1 Centrotherm PECVD 的工作原理

Centrotherm PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和低频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接在镀膜板中介质间发生作用。所用的活性气体为硅酮SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在介质上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。

在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。而氮化硅中的大量氮气，是在氮化硅涂层后的烧结阶段中，被迫进入硅片容器中。

PECVD氮涂层，仅在工艺的第一阶段就提供了良好的表面钝化，又提供了整体钝化。因此不需要单独的氢钝化设备。

1.什么是超声波：

　　所谓超声波，是指人耳听不见的声波。正常人的听觉可以听到16-20千赫兹（KHZ）的声波，低于16千赫兹的声波称为次声波或亚声波，超过20千赫兹的声波称为超声波。

2.超声波的产生：

　　超声波的两个主要参数：

　　频率：F≥20KHz；

　　功率密度：p=发射功率(W)/发射面积 (cm2);通常p≥0.3w/cm2.

　　在液体中传播的超声波能对物体表面的污物进行清洗，其原理可用“空化”现象来解释：超声波振动在液体中传播的音波压强达到一个大气压时，其功率密度为0.35 w/cm2，这时超声波的音波压强峰值就可达到真空或负压，但实际上无负压存在，因此在液体中产生一个很大的力，将液体分子拉裂成空洞一空化核。此空洞非常接近真空，它在超声波压强反向达到最大时破裂，由于破

       结构示意图：～～～～～～～～～～○